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1800℃晶體退火爐
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1800℃晶體退火爐
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1800℃晶體退火爐(氣氛爐)

産品描述

 晶體退火爐、是我公司新推出的一款用于晶棒、晶片、新區式爐。該爐采用進口1900型矽钼棒作為發熱體和本公司專利的氧化锆内襯爐膛。可在1700℃連續使用。最高溫度達1800℃。側開始爐門,易于樣品轉載,并可加裝通氣口,可在氧氣和惰性氣氛下操作殼體結構,爐膛内部溫度穩定度達±1℃,最高溫度為1800℃。真空系統采用特種設計技術,具有操作安全、方便、真空度好、極限真空度可達20kpa、密封性能好,操作方便。

 采用雙層殼體機構和40段程序控溫系統,移相觸發、可控矽控制,爐膛采用進口1900型氧化鋁多晶纖維材料,雙層爐殼間配有冷風系統,能快速升降溫,采用外殼整體密封,蓋闆密封采用矽膠泥,爐門采用矽膠墊并通有水冷系統,氣體經過流量計後由後堂進出,該爐膛具有溫場均衡,表面溫度低,升降溫度速率快,節能等優點,是高校研究院所、工礦企業

規格型号


型号
爐膛尺寸D×W×H
額定功率
最高溫度
額定溫度
加熱元件
電壓
升溫速率
OFQ1800-30
300×150×150mm
8KW
1800℃
1700℃
矽钼棒
220V
≤20℃/min
OFQ1800-30
300×200×200mm
10KW
1800℃
1700℃
矽钼棒
220V
≤20℃/min
OFQ1800-30A
400×250×250mm
13KW
1800℃
1700℃
矽钼棒
380V
≤20℃/min
OFQ1800-40
400×300×300mm
22KW
1800℃
1700℃
矽钼棒
380V
≤20℃/min
OFQ1800-50
500×300×300mm
28KW
1800
1700℃
矽钼棒
380V
≤20℃/min


備注:可選配系統:1、自動洩壓進氣系統;2、混氣供氣系統、3真空機組;4、USB接口、無紙記錄儀、随機打印系統;5、坩埚;進口1900型材料

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